テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体

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PFA(テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル)は、化学的・電気的・機械的特性の面で、PTFEに匹敵する優れた特性をもった熱可塑性フッ素樹脂です。
ほとんどの薬品に対して侵されることがなく、強活性の化学薬品に定常的に接触する半導体分野向け部材などに適しています。

※成型時のピッチずれが生じる為、同シリーズナットと組み合わせて使用してください。

【用途】
ウエハーキャリア、チューブ、中空容器、電子工業用品、電線被覆材料、フィルムなど
【CAS No】
26655-00-5
【燃焼性】
UL94V-0

PFA材料性質

項目 単位 試験法
(ASTM)
PFA
物理的性質 比重 - D792 2.15
吸水率 D570 0.01
ガラス繊維含有率 - -
j機械的性質 引張り強さ MPa D638 28
引張り伸び D638 88
曲げ弾性率 GPa D790 0.48
アイゾット衝撃強度 ノッチ付 J/m D256 破壊せず
ロックウェル硬度 R.Mスケール D785 -
熱的性質 連続使用温度(Mech.with.imp) UL746B 260
燃焼性 - UL94 V-0
電気的特性 体積固有抵抗 Ω・m D257 >1018
絶縁破壊強度 MV/m D149 20kv/mm
耐アーク性 sec D495  >300
誘電率(106Hz) - D150 <2.1
誘電正接(106Hz) sec D150 0.0003

※上記数値は代表値であり規格値ではございません

PFA耐薬品性

薬品名 PFA
塩酸 10%
硫酸 10%
硫酸 50%
硝酸 10%
硝酸 50%
フッ化水素酸 10%
フッ化水素酸 50%
リン酸
蟻酸
酢酸 10%
クエン酸
クロム酸
ホウ酸
アルコール
メタノール
グリコール
塩基
アンモニア
水酸化ナトリウム 10%
水酸化カリウム 10%
水酸化カルシウム
無機化学品
硫化水素(ガス)
二酸化硫黄
硝酸アンモニウム
硝酸ナトリウム
炭酸カルシウム
塩化カルシウム
塩化マグネシウム
硫酸マグネシウム
硫酸亜鉛
過酸化水素
  • ○使用可
  • △条件により使用可
  • ×使用不可