PFAの材質解説
PFA(テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体)は、化学的・電気的・機械的特性の面で、PTFEに匹敵する優れた特性をもった熱可塑性フッ素樹脂です。ほとんどの薬品に対して侵されることがなく、強活性の化学薬品に定常的に接触する半導体分野向け部材などに適しています。
※成型時のピッチずれが生じる為、同シリーズナットと組み合わせて使用してください。
- 【用途】
- ウエハーキャリア、チューブ、中空容器、電子工業用品、電線被覆材料、フィルムなど
- 【CAS No】
- 26655-00-5
- 【燃焼性】
- UL94V-0
PFA材料性質
| 項目 | 単位 | 試験法 (ASTM) |
PFA | |
|---|---|---|---|---|
| 物理的性質 | 比重 | - | D792 | 2.15 |
| 吸水率 | ％ | D570 | 0.01 | |
| ガラス繊維含有率 | ％ | - | - | |
| j機械的性質 | 引張り強さ | MPa | D638 | 28 |
| 引張り伸び | ％ | D638 | 88 | |
| 曲げ弾性率 | GPa | D790 | 0.48 | |
| アイゾット衝撃強度 ノッチ付 | J/m | D256 | 破壊せず | |
| ロックウェル硬度 | R.Mスケール | D785 | - | |
| 熱的性質 | 連続使用温度(Mech.with.imp) | ℃ | UL746B | 260 |
| 燃焼性 | - | UL94 | V-0 | |
| 電気的特性 | 体積固有抵抗 | Ω・m | D257 | >1018 |
| 絶縁破壊強度 | MV/m | D149 | 20kv/mm | |
| 耐アーク性 | sec | D495 | >300 | |
| 誘電率（106Hz） | - | D150 | <2.1 | |
| 誘電正接（106Hz） | sec | D150 | 0.0003 | |
※上記数値は代表値であり規格値ではございません
PFA耐薬品性
| 薬品名 | PFA |
|---|---|
| 酸 | |
| 塩酸 10％ | ○ |
| 硫酸 10％ | ○ |
| 硫酸 50％ | ○ |
| 硝酸 10％ | ○ |
| 硝酸 50％ | ○ |
| フッ化水素酸 10％ | ○ |
| フッ化水素酸 50％ | ○ |
| リン酸 | ○ |
| 蟻酸 | ○ |
| 酢酸 10％ | ○ |
| クエン酸 | ○ |
| クロム酸 | ○ |
| ホウ酸 | △ |
| アルコール | |
| メタノール | ○ |
| グリコール | ○ |
| 塩基 | ○ |
| アンモニア | ○ |
| 水酸化ナトリウム 10％ | ○ |
| 水酸化カリウム 10％ | ○ |
| 水酸化カルシウム | ○ |
| 無機化学品 | |
| 水 | ○ |
| 硫化水素（ガス） | ○ |
| 二酸化硫黄 | ○ |
| 硝酸アンモニウム | ○ |
| 硝酸ナトリウム | ○ |
| 炭酸カルシウム | ○ |
| 塩化カルシウム | ○ |
| 塩化マグネシウム | ○ |
| 硫酸マグネシウム | ○ |
| 硫酸亜鉛 | ○ |
| 過酸化水素 | ○ |
○使用可
△条件により使用可
×使用不可